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型号:LEICA M205C

主要用途:用于观察样品的形貌、缺陷

主要参数:变倍比:20.5:1 最高的变倍率20.5 连续变倍:7.8x-160x 数值孔径0.35 长工作距离61.5mm

特点:测试碳化硅晶片表面缺陷及内部应力分布情况,判断晶片质量

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