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DQX-206N等离子清洗机
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产品描述
详细参数
销售热线
等离子清洗机是利用等离子体中活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的的机器。
未找到相应参数组，请于后台属性模板中添加
功能说明：
清洗功能：清洗管壳、框架、玻璃、芯片等产品。
保护功能：工作气体耗尽报警、 压缩空气压力低于设定值报警、反应仓泄露率过大报警、 控制面板处设急停按钮等。
显示功能：工艺参数显示；运行时间显示；工艺过程实时监视并显示运行状态，如泵的运行、射频电源、质量流量等；故障报警，提示故障项目。
主要技术指标：
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反应仓尺寸 |
不锈钢 L500 ×W500 ×H400（mm） |
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等离子体频率 |
13.56MHz |
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射频电源功率 |
（0～600）W可调 |
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控制方式 |
PLC+触摸屏 |
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工艺气体流量 |
(0～200)ml/min （标准气压,0℃） |
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清洗时间控制 |
1秒～120分钟连续可调 |
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基础压力设定范围 |
（10～50）Pa |
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参数配方显示 |
触摸屏显示可设定50组 |
微电子装备事业部
联系电话：13513635749（康先生）
暂未实现,敬请期待
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