利用自主研制的碳化硅单晶生长设备和自主研制的高纯粉料进行高纯半绝缘4H-SiC单晶衬底的制备,4英寸高纯4H-SiC衬底达到2000片/年。

料箱库是以料箱为存储单元,通过提取车实现料箱在货架上的存放工作,货叉将料箱送到生产线上。

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