产品描述

用于光伏电池镀膜工序。将经过管式PECVD工艺处理后的石墨舟内的硅片自动化取出装篮,并将没经过工艺处理的硅片自动化装入石墨舟。降低人工强度及碎片率,减少人工接触硅片,有效提升成品率和转换率。