产品描述

全自动临时键合设备主要用于集成电路先进封装领域如 2.5D/3D IC,FoWLP 等工艺流程,为待减薄晶圆提供机械 支撑,支持 12 英寸晶圆临时键合工艺。可选配键合、对位、 冷却、预对准等模块。