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铜陵智能装备
铜陵先进封装装备
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产品描述
全自动临时键合设备主要用于集成电路先进封装领域如 2.5D/3D IC,FoWLP 等工艺流程,为待减薄晶圆提供机械 支撑,支持 12 英寸晶圆临时键合工艺。可选配键合、对位、 冷却、预对准等模块。
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