央视财经《非凡十年看名企》专题报道二所第三代半导体发展成果
发布时间：
2022-09-21
概要：
9月19日，央视财经频道《经济信息联播》《非凡十年看名企》栏目专题报道了2所在第三代半导体装备领域取得的重要突破。
第三代半导体碳化硅产业链中最为重要的一个环节就是碳化硅衬底材料的制备，这种材料需要在2500度以上的高温以及真空环境中生长，连续生长时间往往要超过10天。由于晶体生长工艺要求苛刻，整个生长过程都像是在"开盲盒"，因此对碳化硅单晶生长炉装备提出了很高的要求。
十年前，2所就开始涉足第三代半导体碳化硅装备的研发，近十年的时间，前后研发出碳化硅单晶生长炉、碳化硅粉料合成炉、碳化硅晶体退火炉、籽晶粘接炉等碳化硅产业链中的多款核心装备。
近年来，2所聚焦“大尺寸化、快速生产化、高良率化、全自动化、低能耗化”目标，攻关形成第三代半导体核心装备研发、产业化和整线解决方案，基于自主研发的全自动碳化硅单晶生长设备，实现了高质量碳化硅单晶生长。
第三代半导体的窗口已经打开，2所将继续加大研发力度，以"智能制造"和"人工智能"技术为碳化硅装备赋能，将"智能长晶技术"应用到碳化硅单晶生长炉上面，让原有的"开盲盒"过程变成"可视化"的生长过程，努力把装备做精做好，为第三代半导体产业的高速发展添砖加瓦！
来源/央视财经
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