非接触式电阻率测试仪
在线式等离子清洗机主要针对封装工艺过程中引线框架特性，在引线键合（打线）前进行清洗，去除工件表面微颗粒污染及氧化物，提高表面活性，提高引线键合（打线）能力，防止封装分层。以射频等离子清洗为主要功能，配备自动从料盒内取片、物料传输及送回料盒等辅助功能，实现高自动化等离子清洗，减少人为等因素，降低二次污染及批量式清洗可能出现的损伤几率。
多年来，二所立足自主装备，与产业融合，形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
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型号：COREMA
主要用途：测试半绝缘样品的电阻率及分布
主要参数：测试样品直径最高200mm，步长1mm 电阻率范围为1*105-1*1012W-cm
特点：提供半绝缘碳化硅晶片的电阻率分布图，可直观观察样品电阻率的均匀性
提供半绝缘样品电阻率测试及结果报告
中国电子科技集团公司第二研究所成立于1962年，是我国以智能制造、微电子装备及应用、碳化硅装备及应用、新能源装备及应用等产品研发生产的骨干单位。多年来，二所立足自主装备，与产业融合，形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
二所是科技部“国家第三代半导体技术创新中心（山西）”、科技部“国家科技合作基地”、工信部“智能制造试点示范”、国防科工局“军用微组装技术创新中心”、山西省“宽禁带半导体制备重点实验室”、山西省“微组装工程技术研究中心”、山西省“微电子智能制造装备创新中心”等的主建和依托单位。近年来，获得国家、省部级奖项11项。
站在新的历史起点，二所将以人工智能和半导体技术为核心，强化以军为本、以民为主的创新链和以装备为本、以应用为主的产业链，实施智能制造、微电子、SiC和新能源产业跃升计划，不断提升核心竞争力和盈利能力，形成良好可持续的高质量发展态势。
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