- 产品描述
- 详细参数
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全自动临时键合设备主要用于集成电路先进封装领域如 2.5D/3D IC，FoWLP 等工艺流程，为待减薄晶圆提供机械 支撑，支持 12 英寸晶圆临时键合工艺。可选配键合、对位、 冷却、预对准等模块。
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基底尺寸：8/12 英寸
键合温度：350℃
温度均匀性≤ ±1.5%
键合压力：30KN
极限真空度：5×10-3Pa
对位精度：边沿对准≤ 30μm，Mark 精确对准≤ 2μm
中国电子科技集团公司第二研究所成立于1962年，是我国以智能制造、微电子装备及应用、碳化硅装备及应用、新能源装备及应用等产品研发生产的骨干单位。多年来，二所立足自主装备，与产业融合，形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
二所是科技部“国家第三代半导体技术创新中心（山西）”、科技部“国家科技合作基地”、工信部“智能制造试点示范”、国防科工局“军用微组装技术创新中心”、山西省“宽禁带半导体制备重点实验室”、山西省“微组装工程技术研究中心”、山西省“微电子智能制造装备创新中心”等的主建和依托单位。近年来，获得国家、省部级奖项11项。
站在新的历史起点，二所将以人工智能和半导体技术为核心，强化以军为本、以民为主的创新链和以装备为本、以应用为主的产业链，实施智能制造、微电子、SiC和新能源产业跃升计划，不断提升核心竞争力和盈利能力，形成良好可持续的高质量发展态势。
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