全自动点胶贴片机
多年来,二所立足自主装备,与产业融合,形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
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此设备应用于微组装点胶贴片工艺。具有多线程、多时序、柔性工艺组合、复杂逻辑严密过程控制等特点。突破了微小芯片精确对位、多轴高精度闭环运动控制、自动测高与压力精密控制等关键技术。实现了点胶、蘸胶、贴片、多种上料方式自由组合、贴片头智能切换、流水线自动传输等功能;具备高速、高精度、多品种、大批量生产能力。
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蘸胶系统可选择多种蘸胶头更换;
顶针库存放不同型号的顶针,适用于多种芯片及蓝膜;
晶圆料仓,可编程选择使用不同晶圆盘,设备自动拾放;
对基板测高,动态监测贴装高度;
贴片头库,支持同时使用最多7种贴片吸头;
通过视觉标定系统,完成俯视相机、仰视相机、晶圆相机、吸头的自动校准。
主要技术参数:
贴片精度:XY方向≤±10μm; θ角度偏差:≤±1°;
贴片效率:≤3s/个(含点胶时间); 上料晶圆尺寸:6英寸;
中国电子科技集团公司第二研究所成立于1962年,是我国以智能制造、微电子装备及应用、碳化硅装备及应用、新能源装备及应用等产品研发生产的骨干单位。多年来,二所立足自主装备,与产业融合,形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
二所是科技部“国家第三代半导体技术创新中心(山西)”、科技部“国家科技合作基地”、工信部“智能制造试点示范”、国防科工局“军用微组装技术创新中心”、山西省“宽禁带半导体制备重点实验室”、山西省“微组装工程技术研究中心”、山西省“微电子智能制造装备创新中心”等的主建和依托单位。近年来,获得国家、省部级奖项11项。
站在新的历史起点,二所将以人工智能和半导体技术为核心,强化以军为本、以民为主的创新链和以装备为本、以应用为主的产业链,实施智能制造、微电子、SiC和新能源产业跃升计划,不断提升核心竞争力和盈利能力,形成良好可持续的高质量发展态势。
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