GJL-2835共晶炉
多年来,二所立足自主装备,与产业融合,形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
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真空 / 可控气氛共晶炉可用于微电子封装、混合微电子电路组装、低空洞共晶管 芯贴片、陶瓷封装封焊、金属管壳真空封焊等领域。为微波器件封装、LED 芯片焊接、 MEMS 器件封装、LD 器件焊接、电力电子器件封装、IGBT 芯片焊接等提供设备支持。 可应用于航空、航天及军事工程等高可靠要求的混合集成电路、微波、光集成电路以 及 MEMS 器件的共晶焊接工艺
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最大工作温度:450℃; 定值控温精度:±1℃;
极限真空:5Pa; 推荐工作真空:10~15Pa;
观察窗口直径:80mm; 工艺气体:氮气(甲酸可选);
电气:380V 三相; 真空泵:机械泵; 标配外设:水冷机 + 真空泵。
有效加热面积:(220×290) mm2 ; 有效面积内热均匀性:±1.5%℃;
最大加热速率:120℃ /min; 冷却速率:60℃ /min;
最大器件高度:100mm; 外形尺寸 (L×W×H):960×890×1310(mm);
重量:约 300Kg; 功率:9.6KW;
控温方式:三路控温; 最大支持六区域独立 PID 控制
中国电子科技集团公司第二研究所成立于1962年,是我国以智能制造、微电子装备及应用、碳化硅装备及应用、新能源装备及应用等产品研发生产的骨干单位。多年来,二所立足自主装备,与产业融合,形成了具有特色的高端智能制造和工艺技术系统集成的能力。
二所是科技部“国家第三代半导体技术创新中心(山西)”、科技部“国家科技合作基地”、工信部“智能制造试点示范”、国防科工局“军用微组装技术创新中心”、山西省“宽禁带半导体制备重点实验室”、山西省“微组装工程技术研究中心”、山西省“微电子智能制造装备创新中心”等的主建和依托单位。近年来,获得国家、省部级奖项11项。
站在新的历史起点,二所将以人工智能和半导体技术为核心,强化以军为本、以民为主的创新链和以装备为本、以应用为主的产业链,实施智能制造、微电子、SiC和新能源产业跃升计划,不断提升核心竞争力和盈利能力,形成良好可持续的高质量发展态势。
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